LIQUIDI A CANTILEVER IN CARBURO DI SILICIO
Aree di applicazione: Nei forni a diffusione e nei forni a diffusione con ossidazione ad alta temperatura utilizzati nell'industria manifatturiera dei semiconduttori per eseguire la crescita termica e l'ossidazione dei wafer di silicio, la pala a sbalzo è un componente chiave del sistema di caricamento dei wafer per garantire l'uniformità del wafer e del tubo del forno per più diffusione e ossidazione uniforme. Le pale a sbalzo in carburo di silicio sono caratterizzate da elevata resistenza, elevata purezza, elevata conduttività termica, assenza di porosità, resistenza alla corrosione acida e alcalina, assenza di contaminazione alle alte temperature, buona stabilità allo shock termico ed elevata capacità di carico. Combinato con un coefficiente di dilatazione termica simile a quello dei rivestimenti LPCVD, l'uso di pale a sbalzo in carburo di silicio negli LPCVD può estendere significativamente i cicli di pulizia di manutenzione e ridurre notevolmente la contaminazione.
Descrizione
Uno dei principali vantaggi dell'impasto liquido in sospensione di carburo di silicio è la sua capacità di fornire risultati coerenti e uniformi. L'impasto è in grado di fornire una finitura liscia e un'eccellente qualità superficiale, garantendo che le parti lavorate siano esenti da graffi, crepe o altri difetti.
Un altro vantaggio del liquame in sospensione di carburo di silicio è che è rispettoso dell'ambiente. Il liquame non contiene composti pericolosi o sostanze chimiche tossiche, il che lo rende sicuro da usare e smaltire.
Inoltre, l'impasto liquido in sospensione di carburo di silicio è estremamente conveniente in quanto riduce significativamente lo spreco di materiale e i tempi di lavorazione. L'impasto liquido è in grado di rimuovere il materiale a una velocità maggiore rispetto alle tradizionali tecniche di molatura e lucidatura, aumentando così l'efficienza del processo di produzione.
