Usi e vantaggi della pasta cantilever al carburo di silicio

Feb 18, 2024

L'impasto liquido di carburo di silicio (SiC) viene comunemente utilizzato come sospensione per la lucidatura e la planarizzazione di vari materiali, inclusi wafer di silicio, ceramica e metalli. Tuttavia, l'impasto liquido SiC può essere utilizzato anche come sospensione per la finitura superficiale di dispositivi MEMS e strutture microfabbricate. L'uso dell'impasto liquido SiC per i dispositivi MEMS offre numerosi vantaggi rispetto ad altri abrasivi.

In primo luogo, l'impasto liquido di SiC ha una distribuzione granulometrica controllata, garantendo un effetto abrasivo costante su una superficie. Questa caratteristica unica consente un controllo preciso sul processo di lucidatura e planarizzazione, ottenendo una finitura superficiale più uniforme.

In secondo luogo, l’impasto liquido di SiC ha un tasso elevato di rimozione del materiale, il che significa che è necessario meno tempo per completare il processo di lucidatura, il che a sua volta riduce tempi e costi di produzione.

In terzo luogo, l'impasto liquido di SiC è chimicamente inerte, ovvero non può reagire con il materiale da lucidare, con conseguente minor rischio di contaminazione o danni alla superficie da lucidare.

Infine, il liquame SiC è rispettoso dell'ambiente, poiché non contiene sostanze chimiche o solventi pericolosi, rendendolo sicuro sia per l'utente che per l'ambiente.

Nel complesso, l'uso dell'impasto liquido di SiC come sospensione per la finitura superficiale di dispositivi MEMS e strutture microfabbricate offre numerosi vantaggi rispetto ad altri abrasivi, tra cui una distribuzione dimensionale uniforme delle particelle, un elevato tasso di rimozione del materiale, inerzia chimica e rispetto dell'ambiente.

 

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