Tecnologia di sputtering a fascio ionico di nitruro di boro

May 08, 2021

Utilizzando la tecnologia di deposizione sputtering a fascio di particelle, si ottiene un prodotto misto di nitruro di boro cubico e nitruro di boro esagonale. Sebbene questo metodo abbia meno impurità, è difficile controllare le condizioni di reazione, quindi la morfologia del prodotto è difficile da controllare e la ricerca su questo metodo ha un grande potenziale di sviluppo.


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